主要特點
l 的質量流量混比法
l 精度高、重復性好
l 800×480 TFT觸控屏
l 全進口氣路快插件,使用方便
l 具備自校準功能,自動修正流量體積
l 稀釋氣體可多選,目前支持:SF6、N2、O2、Air等
l 具備程控配氣方式,可在特定時間段內輸出特定成分氣體
技術參數
流量范圍  | 配氣通道0~150mL/min,平衡通道0~600mL/min  | 
準 確 度  | ±1.0% F.S  | 
重 復 性  | ±0.2% F.S  | 
zui大輸出流量  | 1000ml/min  | 
zui小輸出流量  | 2% F.S  | 
zui大稀釋比  | 200:1  | 
工作電源  | AC 220V/50Hz  | 
工作環境  | 環境溫度:-20℃~60℃   | 
管道連接  | 高級特氟龍管快插連接   | 
尺 寸  | 約470mm×370mm×240mm  |